Bắt nguồn sâu xa từ kinh Cứu Bạt Diệm Khẩu Đà-la-ni do đại sư Bất Không phiên dịch và truyền bá ở Trung Quốc vào đời Đường, phép cúng thí thực có mục đích đem tình thương bao la cứu độ loài ngạ quỷ lang thanh khổ sở giữa chốn u minh. Sang đời Tống, đại sư Bất Động tham cứu thêm các kinh điển Mật tông khác, diễn dịch thành phép Tiểu thí thực. Vì đại sư tu tập ở núi Mông Sơn, nên phép này được gọi là Tiểu Mông Sơn và được thực hành hàng ngày như một khoa nghi thiết yếu của Mật tông. Qua các đời Nguyên, Minh, khoa nghi này dần biến đổi, pha trộn với nghi thức của các tông phái khác, chen thêm phần văn thí thực, triệu thỉnh vào phần trì chú biến thực, siêu độ, thể hiện trọn vẹn lòng từ bi vô lượng của Phật giáo, nhằm cứu độ mọi chúng sinh còn trôi nổi lạc loài trong Bà đường dữ.

Khoa nghi này truyền sang nước ta đã lâu đời, thường được gọi là nghi thức đăng đàn chẩn tế, do các cao tăng làm sám chủ.